




特種氣體存放
針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過(guò)管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥門(mén)箱,而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn),徐州特種氣體,于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前,會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤(pán)與制程控制模塊聯(lián)機(jī),特種氣體廠家供應(yīng)哪個(gè)好,以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制,特種氣體供應(yīng)商,通常此氣體控制盤(pán)不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇,而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開(kāi)放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門(mén)盤(pán)進(jìn)行供應(yīng)。


特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
特氣輸送系統(tǒng)是指:將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過(guò)對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制,通過(guò)管道、無(wú)二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。
其基本流程是:氣源→控制柜→管道傳輸→用氣點(diǎn)
分類(lèi)
特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為:惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為:特種氣體和大宗特種氣體。


特種氣體管道的施工
特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接,同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序,對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測(cè)、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測(cè)試。
預(yù)制間的選擇
特種氣體管道的施工對(duì)環(huán)境的要求比較高,管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場(chǎng) 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn),預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行,作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。因此對(duì)于特氣項(xiàng)目,一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。


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